磁悬浮转台
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产品编号
所属分类
化药
应用领域：快速热处理RTP、单片晶圆清洗、MOCVD沉积。
开拓应用：旋转、洁净场合，如镀膜、旋涂、电镀、研磨、刻蚀等。
优点： 1、转子通过磁力悬浮在空中，无机械摩擦、无需动密封、不产生颗粒、高洁净。 2、旋转速度可达2500RPM，可连续调节，保证晶圆工艺均匀。 3、环形转子中空结构，便于布局。 4、旋转零点自动回位，便于晶圆抓取。
数量
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库存:
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产品描述
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技术难点：九自由度磁悬浮控制、金属屏蔽传感技术。
银河电子游戏1331技术积累：磁悬浮人工心脏传感技术、卫星调姿磁悬浮动量球控制技术。
研发实力：控制器、传感器、软件全部自主研发。
研发速度：3个月完成研发、6个月量产。
行业地位：全球唯一自由供应商，可按照半导体工艺需求定制。
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